Subjects: поверхностные акустические волны; микромеханический гироскоп; TA401-492
تفاصيل العنوان
Subjects: МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП,MICROMECHANICAL GYROSCOPE,АКУСТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ,ACOUSTIC WAVES,ПОВЕРХНОСТНЫЕ АКУСТИЧЕСКИЕ ВОЛНЫ,SURFACE ACOUSTIC WAVES