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Academic Journal

Low temperature Topographically Selective Deposition by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition with ion bombardment assistance

Subjects: [PHYS]Physics [physics]

  • Source: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449060 ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2021, 39 (3), pp.032416.

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Dissertation/ Thesis

Ion-surface interaction : simulation of plasma-wall interaction (ITER) ; Interaction ion‐surface : simulation de l'interaction plasma‐paroi (ITER)

Subjects: Sputtering (physics); Surface (physics); Ion bombardment

  • Source: https://theses.hal.science/tel-00915747 ; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]. Université de Caen, 2013. Français. ⟨NNT : ⟩.

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Dissertation/ Thesis

III-V materials plasma-etching process development for power devices ; Développement d'un procédé de gravure par plasma pour les transistors de puissance à base de matériaux III-V

Subjects: Plasma Etching; Transistors; Atomic Layer Etching

  • Source: https://theses.hal.science/tel-04740728 ; Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-.], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT049⟩.

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Dissertation/ Thesis

Gallium Nitride (GaN) plasma etch for high efficiency µLED applications ; Gravure Plasma du Nitrure de Gallium pour la réalisation de micro LEDs à hautes performances

Subjects: Gallium Nitride; Dry etch; MicroLED

  • Source: https://theses.hal.science/tel-04709947 ; Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes [2020-.], 2024. Français. ⟨NNT : 2024GRALT041⟩.

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