Item request has been placed! ×
Item request cannot be made. ×
loading  Processing Request

Development of nano-machining system and its application

Item request has been placed! ×
Item request cannot be made. ×
loading   Processing Request
  • المؤلفون: Kawasegi, N.
  • المصدر:
    Optifab 2003: Technical Digest ; page 13
  • نوع التسجيلة:
    conference object
  • اللغة:
    unknown
  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Pollicove, Harvey M.; Czajkowski, Walter C.; Dohi, Toshihide; Lauth, Hans
    • بيانات النشر:
      SPIE
    • الموضوع:
      2003
    • الرقم المعرف:
      10.1117/12.2284003
    • الدخول الالكتروني :
      https://doi.org/10.1117/12.2284003
    • الرقم المعرف:
      edsbas.BF117F74