Technologie des Microcapteurs de gaz

National audience ; Aujourd’hui, nous pouvons trouver dans la littérature et dans le commerce divers équipements de détection de gaz qui utilisent des capteurs électrochimiques, des capteurs à base d’oxydes métalliques de type résistif, des capteurs catalytiques ou encore piézoélectriques …. L’intérêt croissant pour ces capteurs aussi bien dans le domaine de la recherche qu’en industrie provient de plusieurs raisons. Nous pouvons citer entre autre, des coûts de fabrication avantageux favorisés par le développement des technologies de la microélectronique ; ce qui permet de réduire la taille des composants et donc de réaliser un grand nombre de capteurs sur une même plaquette de silicium. Par ailleurs, avec l’émergence des microsystèmes (début des années 80), nous assistons de plus en plus au développement de dispositifs miniatures, portables, « intelligents », intégrant le (ou les) capteurs, son alimentation, l’électronique de traitement et bien d’autres éléments ; on parle alors de nez électroniques intégrés.La fabrication de ces dispositifs associe les technologies standards de la microélectronique mais également de nouvelles techniques d’élaboration et d’intégration de nouveaux matériaux souvent nanostructurés, ou encore de nouveaux procédés de micro-usinage ou d’assemblage. Tout ceci devrait permettre de répondre aux besoins du marché tels qu’un faible coût de fabrication, une consommation énergétique la plus basse possible, une bonne stabilité, reproductibilité et fiabilité du dispositif, et enfin une portabilité élevée. Déjà en 2005, plus de 70% des détecteurs de gaz sont portables avec une progression constante de ce taux d’année en année (76% aujourd’hui).Parmi les capteurs développés à ce jour, les capteurs de gaz semi-conducteurs répondent le mieux encore aujourd’hui à ces besoins avec un coût de fabrication modéré (d’autant plus faible que le nombre fabriqué sera grand) ; ils sont en effet non seulement très bien adaptés aux techniques de la microélectronique mais intègrent également une grande ...