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Ultra-Low-Power Logic with Contactless Capacitive MEMS

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  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Équipe Microsystèmes électromécaniques (LAAS-MEMS); Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS); Université Toulouse Capitole (UT Capitole); Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse); Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J); Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3); Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP); Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole); Université de Toulouse (UT); Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI); Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA); ANR-19-CE24-0013,zerOuate,Electronique douce et parahaptique à base de dispositifs électromécaniques en milieu liquide(2019)
    • بيانات النشر:
      HAL CCSD
      IEEE
    • الموضوع:
      2022
    • Collection:
      Université Toulouse 2 - Jean Jaurès: HAL
    • الموضوع:
      Salt Lake City; United States
    • نبذة مختصرة :
      International audience ; We report the simulation, design, fabrication and performance assessment of capacitive MEMS, carrying out contactless electromechanical computing with ultra-low-power consumption. The novel concept is implemented on silicon using on-purpose differential comb-drive actuators. This shift in the paradigm allows near-zero power dissipation by asymptotically suppressing static and dynamic energy losses which are inherently present in current hardware for logic implementation. Furthermore, this novel approach based on capacitive information encoding allows recovery of the invested charges by the power supply asymptotically suppressing dynamic losses and opening the way towards adiabatic operation. At the very least, the contactless operation resolves the reliability issues in existing electromechanical logics based on N/MEMS relays.
    • ISBN:
      978-1-66549-307-9
      1-66549-307-0
    • Relation:
      hal-03946985; https://hal.science/hal-03946985; https://hal.science/hal-03946985/document; https://hal.science/hal-03946985/file/PMEMS2022_A.Markovic.pdf
    • الرقم المعرف:
      10.1109/PowerMEMS56853.2022.10007572
    • الدخول الالكتروني :
      https://hal.science/hal-03946985
      https://hal.science/hal-03946985/document
      https://hal.science/hal-03946985/file/PMEMS2022_A.Markovic.pdf
      https://doi.org/10.1109/PowerMEMS56853.2022.10007572
    • Rights:
      info:eu-repo/semantics/OpenAccess
    • الرقم المعرف:
      edsbas.80457CB8