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Cellules à vapeur alcaline microfabriquées à atmosphère contrôlée pour les capteurs atomique

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  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN); Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL); Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST); Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Franche-Comté (UFC); Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté COMUE (UBFC); Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN (AIMAN-FILMS - IEMN); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); no information in the text
    • بيانات النشر:
      HAL CCSD
    • الموضوع:
      2024
    • Collection:
      Université Polytechnique Hauts-de-France: HAL
    • الموضوع:
      Rouen; France
    • نبذة مختصرة :
      International audience ; Nous présentons des techniques récemment développées pour former, remplir et sceller des cellules à vapeur alcaline microfabriquées. Ces techniques reposent sur des microstructures de scellement à usage unique, fabriquées au sein des cellules, et pouvant être actionnées par irradiation laser, soit pour isoler les cavités les unes des autres, soit pour les connecter. Ces procédés permettant aux cellules d'être évacuées, remplies et scellées après avoir été entièrement structurées, ouvrent de nouvelles voies pour les dispositifs atomiques miniatures.
    • الدخول الالكتروني :
      https://hal.science/hal-04745452
      https://hal.science/hal-04745452v1/document
      https://hal.science/hal-04745452v1/file/98b67699-4b6e-44c4-bd3f-15914557704c-author.pdf
    • Rights:
      info:eu-repo/semantics/OpenAccess
    • الرقم المعرف:
      edsbas.75B5DD47