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Silicon Compatible Process To Integrate Impedance Cytometry With Mechanical Characterization

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  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN); Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL); Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS); The University of Tokyo (UTokyo)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Université de Lille; Institut pour la recherche sur le cancer de Lille Lille (IRCL); Physique - IEMN (PHYSIQUE - IEMN); Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA); JUNIA (JUNIA); Université catholique de Lille (UCL); Cancer Heterogeneity, Plasticity and Resistance to Therapies - UMR 9020 - U 1277 (CANTHER); Institut Pasteur de Lille; Réseau International des Instituts Pasteur (RIIP)-Réseau International des Instituts Pasteur (RIIP)-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Université de Lille-Centre Hospitalier Régional Universitaire CHU Lille (CHRU Lille)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Bio-Micro-Electro-Mechanical Systems - IEMN (BIOMEMS - IEMN); ANR-16-IDEX-0004,ULNE,ULNE(2016)
    • بيانات النشر:
      HAL CCSD
      IEEE
    • الموضوع:
      2023
    • Collection:
      Université Polytechnique Hauts-de-France: HAL
    • الموضوع:
      Munich; Germany
    • نبذة مختصرة :
      International audience ; This work is in the framework of SMMiL-E activities (a joint project of CNRS, Institute of Industrial Science,Centre Oscar Lambret, and the University of Lille). The authors acknowledge the French State-Region plan (CPER IRICL, Lille Interdisciplinary research Institute against cancer) for financial support and IRCL for hosting SMMiL-E. M.C. Tarhan and Q. Rezard acknowledge I-SITE ULNE.
    • Relation:
      hal-04048785; https://cnrs.hal.science/hal-04048785; https://cnrs.hal.science/hal-04048785/document; https://cnrs.hal.science/hal-04048785/file/Rezard_2022255426_MEMS2023_VF.pdf
    • الرقم المعرف:
      10.1109/MEMS49605.2023.10052621
    • Rights:
      info:eu-repo/semantics/OpenAccess
    • الرقم المعرف:
      edsbas.736B7308