Contributors: Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (IS2M); Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Matériaux et Nanosciences Grand-Est (MNGE); Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Réseau nanophotonique et optique; Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); National Yang Ming Chiao Tung University Taipei (NYCU); Synthèse Caractérisation Analyse de la Matière (ScanMAT); Université de Rennes (UR)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR); Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes); Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Rennes (ENSCR)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); National Institute for Materials Science (NIMS); Laboratory for Innovative Key Materials and Structures (LINK); Saint-Gobain-National Institute of Materials Science-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Agence Nationale de la Recherche: ANR‐21‐CE09‐0035; Agence Nationale de la Recherche: ANR‐18‐CE08‐0022; Agence Nationale de la Recherche: ANR‐18‐CE24‐0028; Université de Strasbourg: ITIHiFunMat; European Regional Development Fund; ANR-18-CE08-0022,DUVNANO,Fabrication de couches minces fonctionnelle en combinant les procédés de nanolithographie UV profonds et la chimie colloïdale des nanocristaux(2018); ANR-21-CE09-0035,POPCORN,Photochimie et photophysique des plasmons en vue d'une polymérisation nanolocalisée entièrement contrôlée(2021); ANR-18-CE24-0028,NIRTRONIC,Ecriture directe par laser NIR de matériaux à propriétés électroniques à partir d'oxo-clusters de métaux (MOC) de transition(2018); ANR-10-IDEX-0002,UNISTRA,Par-delà les frontières, l'Université de Strasbourg(2010); ANR-20-SFRI-0012,STRAT'US,Façonner les talents en formation et en recherche à l'Université de Strasbourg(2020)
نبذة مختصرة : International audience ; AbstractNear‐infrared (NIR) laser annealing is successfully used to crystallize TiO2 thin films from a sol–gel solution deposited on gold nanoparticle arrays (AuNPs). The AuNPs are used as nano‐heaters allowing a local temperature increase up to 500 °C in the film. The temperature reached under the laser is deduced from the presence of the anatase phase in the samples obtained by laser exposure, showing that crystallized TiO2 can be obtained by the photothermal effect. Different analytical techniques supported this study, such as grazing X‐ray diffraction (GIXRD), UV–vis, and Raman spectroscopy. The temperature increase is confirmed by a numerical model that emphasizes the role of NPs coupling in the photothermal effect. Direct laser patterning by NIR laser and in combination with Deep‐UV photolithography (DUV) are demonstrated. This fabrication method opens new perspectives in applications such as photonics, photocatalysis, or biosensing.
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