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Integration of epitaxial La2/3Sr1/3MnO3 thin films on silicon-on-sapphire substrate for MEMS applications

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  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072; Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC); Université de Caen Normandie (UNICAEN); Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN); Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN); Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS); Cornell University New York; CNR Istituto Officina dei Materiali (IOM); National Research Council of Italy; Laboratoire de cristallographie et sciences des matériaux (CRISMAT); Normandie Université (NU)-Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA); Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN); Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie); Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN); Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
    • بيانات النشر:
      HAL CCSD
      Elsevier
    • الموضوع:
      2022
    • Collection:
      Normandie Université: HAL
    • نبذة مختصرة :
      International audience ; We report the integration of high-quality epitaxial La 2/3 Sr 1/3 MnO 3 (LSMO) thin films onto SrTiO 3 buffered Silicon-on-Sapphire (SOS) substrates by combining state-of-the-art thin film growth techniques such as molecular beam epitaxy and pulsed laser deposition. Detailed structural, magnetic and electrical characterizations of the LSMO/STO/SOS heterostructures show that the LSMO film properties are competitive with those directly grown on oxide substrates. X-ray magnetic circular dichroism measurements on Mn L 2,3 edges show strong dichroic signal at room temperature, and angular-dependent in-plane magnetic properties by magneto-optical Kerr magnetometry reveal isotropic magnetic anisotropy. Suspended micro-bridges were thus finally fabricated by silicon micromachining, thus demonstrating the potential use of integrating LSMO magnetic layer on industrially compatible SOS substrates for the development of applicative MEMS devices.
    • Relation:
      hal-03843340; https://hal.science/hal-03843340; https://hal.science/hal-03843340/document; https://hal.science/hal-03843340/file/LSMO_STO_SOS_revised%20final.pdf
    • الرقم المعرف:
      10.1016/j.apsusc.2021.152095
    • Rights:
      info:eu-repo/semantics/OpenAccess
    • الرقم المعرف:
      edsbas.362B75EB