Estimation des transferts thermiques dans un procédé de dépôt assisté par plasma (PACVD) : influence du milieu plasma

International audience ; Dans cette communication est présentée la méthodologie utilisée pour réaliser des mesures de températures dans le but d’identifier des paramètres d’un modèle thermique. Le modèle thermique sera utilisé pour estimer la température de surface d’un substrat à revêtir dans un procédé de dépôt chimique par voie gazeuse assisté plasma. Des mesures de températures sous milieu plasma ont été réalisées. Ce papier présente les difficultés rencontrées pour acquérir des données exploitables au code d’identification utilisant la méthode du gradient conjugué.