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Impact of low thermal processes on reliability of HK/MG stacks

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  • معلومة اضافية
    • Contributors:
      Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI); Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)); Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA); Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC ); Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes 2016-2019 (UGA 2016-2019 ); European Project: 325630,EC:FP7:SP1-JTI,ENIAC-2012-2,AGATE(2013)
    • بيانات النشر:
      HAL CCSD
    • الموضوع:
      2016
    • Collection:
      Université Grenoble Alpes: HAL
    • الموضوع:
      Catania; Italy
    • نبذة مختصرة :
      International audience
    • Relation:
      info:eu-repo/grantAgreement/EC/FP7/325630/EU/DEVELOPMENT OF ADVANCED GAN TECHNOLOGIES/AGATE; hal-02051859; https://hal.science/hal-02051859
    • الرقم المعرف:
      edsbas.28164062